半导体洁净厂房自洁式机组-海洁

产品介绍

自清洁沙尘过滤机组是服务于半导体芯片制造、电子元器件生产等高精度洁净车间的主过滤设备，专为满足百级、千级、万级洁净室环境要求设计。设备可高效过滤空气中的微尘、颗粒物、有机分子、毛发、絮状物等污染物，避免杂质影响光刻、蚀刻、封装等精密生产工序，保障产品良率。采用无尘室专用自洁技术，清洁过程无二次扬尘，全程维持车间洁净等级，同时具备低噪、节能、恒压送风特性，可与洁净厂房中央空调、新风系统联动运行，为半导体生产提供稳定、洁净、恒流的空气环境，助力高端电子制造产业高质量发展。产品实物图

性能特点

1、半导体洁净厂房自洁式机组为电子洁净场景核心产品，采用超高效低阻滤材，可过滤亚微米级微小颗粒，满足半导体车间高等级洁净度要求。

2、自洁过程无扬尘、无二次污染，全程不破坏洁净室环境，适配半导体精密生产无尘要求。

3、运行噪音极低，风噪控制严格，不会对洁净厂房内精密设备与生产环境产生噪音干扰。

4、采用防静电设计与材质，避免静电吸附粉尘及干扰半导体元器件生产，保障生产安全。

5、风量风压稳定可调，可配合洁净室新风系统实现恒压恒流送风，保证室内气流组织均匀。

6、整机内壁光滑无死角，易清洁消毒，符合半导体行业高卫生、高洁净设备标准。

7、智能精准控制清灰动作，清灰频率与强度可调，避免过度清灰或清灰不彻底问题。

8、滤材使用寿命长，更换周期长，且更换过程简洁无尘，不影响车间正常生产。

产品性能及卖点介绍

技术参数

自清洁沙尘过滤机组选型表
型号	风量（m³/h）	机外余（pa）	送风主机功率	排沙风机功率	整体尺寸（mm）	进出风口法兰尺寸
LFZS-2000	2000	200	1.5kw	1.1kw	27009701150	800*400
LFZS-2700	2700	200	1.5kw	1.1kw	27009701150	800*400
LFZS-3000	3000	200	3kw	1.1kw	27009701150	800*400
LFZS-4000	4000	200	3kw	1.1kw	270010002000	800*800
LFZS-8000	8000	200	4kw	1.1kw	280010002150	800*700
LFZS-10000	10000	200	5.5kw	1.1kw	290014002450	1200*1000
LFZS-15000	15000	200	7.5kw	2.2kw	320014002650	1200*1200
LFZS-20000	20000	200	11kw	3kw	350014002550	1200*1100
LFZS-25000	25000	200	11kw	3kw	350014002650	1200*1200
LFZS-35000	35000	200	15kw	3kw	360018002800	1600*1300
LFZS-40000	40000	200	18.5kw	4kw	400022003000	2000*1500
LFZS-50000	50000	200	22kw	4kw	410026003000	2400*1500
LFZS-60000	60000	200	37kw	4kw	450026003200	2400*1700