半导体洁净厂房自洁式沙尘机组-海洁

产品介绍

自清洁沙尘过滤机组是微电子洁净车间新风前置专用风沙净化设备，针对厂区户外风沙、扬尘、厂区土建粉尘预处理，作为洁净新风系统第一道防护关卡，阻挡沙尘颗粒侵入万级、千级半导体洁净车间。机组采用多级梯度无硅洁净滤料，不含硅元素避免污染晶圆生产工序，过滤环节分级拦截粗沙、细粉尘，脉冲自洁采用洁净无油气源喷吹，杜绝油污、杂质二次污染新风。整机全不锈钢滤仓，无锈蚀掉屑风险，密封结构达到洁净车间外围防护标准，气流均匀分配无死角，保障进气风压稳定不波动。压差、清灰系统全自动智能控制，可联动洁净车间空调机组同步运行，清灰时序避开晶圆生产关键工序，防止气流扰动影响车间洁净度。设备外壳抗风沙侵蚀，室外进气安装不产生锈蚀碎屑，配套高效隔音减震结构，运行震动极低，不会引发洁净车间微震动干扰精密光刻设备。可适配芯片、封装、面板各类半导体厂区，大幅降低末端高效过滤器粉尘负荷，延长昂贵 HEPA 高效滤网使用寿命，稳定车间洁净等级，减少洁净厂房停产维护频次。产品实物图

性能特点

1、半导体洁净厂房自洁式沙尘机组专为微电子芯片、封装洁净车间新风预处理打造，采用无硅无尘专用梯度滤料，不含硅、钙等易析出污染成分，可拦截户外风沙、土建扬尘，作为洁净车间第一道防护，避免大颗粒沙尘提前损耗末端高价高效过滤滤网。

2、整机过滤仓、气流接触部件全部采用 304 不锈钢材质，风沙、潮湿环境长期使用不会锈蚀脱落金属碎屑，杜绝锈屑随新风进入洁净车间污染晶圆、光刻设备，完全匹配半导体行业高洁净防污染生产标准。

3、自洁喷吹气源配置无油干燥净化装置，压缩空气先除水除油再进入喷吹气包，避免气源油污、水汽随清灰气流扩散混入新风，防止油膜附着滤料产生二次污染物，保障送入洁净厂房空气干燥洁净无杂质。

4、分段分时智能脉冲清灰逻辑，支持自定义清灰时段，可设置避开半导体车间光刻、镀膜等高精度生产工序，分区域轮流喷吹滤芯，全程维持稳定新风风量与风压，不会因集中清灰造成车间气流紊乱、洁净度波动。

5、高精度压差稳定控制系统，压差波动阈值精细调节，精准识别滤芯轻微积尘，及时启动清灰，避免沙尘堆积穿透滤料，实时压差数据接入洁净厂房中央洁净监控系统，同步记录新风净化全过程数据便于生产溯源。

6、进风口配置弧形防沙尘导流百叶 + 前置可拆洗粗滤网，提前拦截风沙中大颗粒砂石、落叶杂物，减少主滤芯沙尘负荷，前置滤网拆装清洗便捷，无需停机即可维护，降低主滤芯更换周期与半导体厂房运维成本。

7、整机低震动复合减震系统，风机、气包、滤仓全部独立减震隔离，机组运行微震动控制在微米级标准，不会传递震动至洁净车间，规避震动干扰光刻机、检测仪器等高精度半导体生产设备。

8、全道次食品级硅胶密封胶条，滤仓门、法兰、检修口多重密封防护，负压进气状态下杜绝室外沙尘从缝隙渗入，室外风沙天气依旧稳定维持进气洁净度，保障车间恒定洁净等级不超标。

9、紧凑型标准化管路接口，适配半导体厂房新风系统通用管道规格，新建、改造洁净车间均可快速对接安装，机组可室外楼顶布置，节省洁净车间内部宝贵生产空间，优化厂区整体布局。

10、配套故障、压差超标声光双重报警装置，异常信号同步上传洁净中控室，一旦出现滤芯破损、风机故障、沙尘穿透等问题立即预警，运维人员快速处置，防止不合格风沙空气持续送入半导体生产车间。

技术参数

自清洁沙尘过滤机组选型表
型号	风量（m³/h）	机外余（pa）	送风主机功率	排沙风机功率	整体尺寸（mm）	进出风口法兰尺寸
LFZS-2000	2000	200	1.5kw	1.1kw	27009701150	800*400
LFZS-2700	2700	200	1.5kw	1.1kw	27009701150	800*400
LFZS-3000	3000	200	3kw	1.1kw	27009701150	800*400
LFZS-4000	4000	200	3kw	1.1kw	270010002000	800*800
LFZS-8000	8000	200	4kw	1.1kw	280010002150	800*700
LFZS-10000	10000	200	5.5kw	1.1kw	290014002450	1200*1000
LFZS-15000	15000	200	7.5kw	2.2kw	320014002650	1200*1200
LFZS-20000	20000	200	11kw	3kw	350014002550	1200*1100
LFZS-25000	25000	200	11kw	3kw	350014002650	1200*1200
LFZS-35000	35000	200	15kw	3kw	360018002800	1600*1300
LFZS-40000	40000	200	18.5kw	4kw	400022003000	2000*1500
LFZS-50000	50000	200	22kw	4kw	410026003000	2400*1500
LFZS-60000	60000	200	37kw	4kw	450026003200	2400*1700