产品介绍
干式化学净化过滤器是一种专门用于去除空气中气态污染物（也称为化学污染物、VOCs、异味等）的高效空气净化设备。化学过滤机组专为半导体行业定制，风量 1800m³/h，可高效去除半导体生产过程中产生的氟化物、氯化物、光刻胶废气等特殊化学污染物。机组采用低能耗设计，在保障高净化效率的同时降低能源消耗，且符合半导体行业对设备洁净度、稳定性的高要求，能为晶圆制造、封装测试等环节提供洁净空气环境，避免化学污染物影响半导体器件性能，助力半导体企业提升生产良率。
性能特点
1、特殊污染物净化：针对半导体行业特有的氟化物（如氟化氢）、氯化物（如氯气）等腐蚀性强的污染物，采用专用耐蚀吸附滤料，吸附效率达 97% 以上；同时配备高效除味模块，去除光刻胶产生的刺激性异味，改善车间工作环境。
2、低能耗运行：采用高效节能电机，能效等级达 IE4 标准，比传统电机节能 25%；风机采用优化的流体力学设计，风阻小，在 1800m³/h 风量下，整机功耗仅 0.8kW，长期使用可大幅降低企业能源成本。
3、高洁净与稳定性：机组内部所有部件均经过严格清洗与除尘处理，避免引入颗粒杂质；机身采用全焊接密封结构，密封性能达 IP65 等级，防止外部污染空气渗入；核心部件经过 1000 小时连续运行测试，故障率低于 0.5%，保障半导体生产连续稳定。
4、智能运维管理：支持物联网连接，可通过手机 APP 或电脑远程监控机组运行状态、滤料寿命、能耗数据等；系统具备自动运维提醒功能，当滤料需更换或设备需维护时，自动推送提醒信息，减少人工巡检成本，提升运维效率。
技术参数
应用领域
客户案例
