半导体厂房 PTFE 覆膜自洁式空气过滤器-海洁

产品介绍

自洁式空气过滤器用于半导体工厂空压机进气预处理，为洁净车间动力气源提供前置净化。滤筒采用 PTFE 覆膜滤料，表面过滤，细尘拦截能力强，粉尘不易嵌入滤材内部，脉冲自洁清灰彻底。设备箱体洁净无析出，密封性能优异，避免颗粒物、外来杂质进入后端空压机，防止油污、粉尘污染半导体洁净工艺气源。PTFE 膜耐化学腐蚀，不产生纤维脱落，不会释放微粒污染车间环境。整机低发尘，满足半导体洁净厂房基础要求，可 24 小时连续运行，模块化结构便于维护，保障半导体生产气源稳定洁净。

产品实物图

性能特点

1、半导体厂房 PTFE 覆膜自洁式空气过滤器采用 PTFE 覆膜滤筒，依靠表面过滤原理，微细粉尘阻隔在滤膜表层，清灰容易，滤材无纤维脱落风险，不会产生纤维碎屑污染半导体工艺气源，保障进气微粒控制要求。

2、PTFE 滤膜具备优异化学稳定性，耐酸碱、有机溶剂雾气侵蚀，半导体车间各类工艺挥发气体接触滤膜不会造成材质降解，不会析出有害物质污染洁净空气。

3、脉冲在线自洁清灰系统，自动清理滤筒表面积尘，无需停机开箱，减少外界污染物进入洁净供气系统，持续维持过滤效率，保障半导体产线不间断供气需求。

4、箱体选用低发尘板材，表面平整不易积尘，无易脱落涂层，避免箱体掉屑，从源头减少异物产生，契合半导体厂房对气源前置净化低微粒释放的严苛要求。

5、高等级耐老化密封件，抗化学蒸汽侵蚀，长期使用不会溶胀开裂，箱体拼接、检修门位置密封严密，杜绝含尘空气短路，防止微粒绕过滤筒进入空压机。

6、高精度压差监测系统，实时监测运行阻力，信号接入厂房中控系统，运维人员远程掌握滤筒状态，提前规划滤筒更换，避免突发滤芯破损影响半导体生产。

7、优化气流布风结构，气流均匀分布至所有滤筒，滤筒受力均衡，减少局部气流冲刷磨损，延长滤筒使用寿命，降低半导体工厂备件更换频次与运维成本。

8、喷吹元器件选用低尘工业级阀体，阀体防尘耐腐蚀，不会产生金属锈蚀碎屑，喷吹压缩空气洁净，清灰过程不会引入额外污染物，保护洁净气源。

9、设备结构无卫生死角，表面便于擦拭清洁，可配合车间常规清洁作业，减少粉尘附着累积，降低微生物、颗粒物在箱体内部积聚的可能性。

10、模块化单元设计，检修维护仅需单独处理单组模块，无需整机停机，设备运行噪音低，适配半导体厂房对配套辅机设备低噪音、低污染的厂区环境管理标准。

技术参数

自洁式空气过滤器技术参数选型
型号	处理风量 m³/h	过滤面积	滤筒数量	过滤精度	初阻损Pa	消耗功率W	反吹气 M³/min	结构形式	反吹气压 Mpa	尺寸 mm
LFZK-180	10800	180	9	过滤精度： ≥1μm/99.96% ≥2μm/99.99% ≥3μm/100%	≤150	150W/AC220V	0.2	单层单租整体出厂滤筒需现场安装	0.4-0.6	161013602660
LFZK-240	14400	240	12							161017802660
LFZK-320	19200	320	16							203017802660
LFZK-560	33600	560	28							304020302860
LFZK-800	48000	800	40							360022502800
LFZK-1200	72000	1200	60							528022002800
LFZK-1600	96000	1600	80			300W/AC220V	0.3			440035202800
LFZK-2000	120000	2000	100					单层或多层布局，多组模块，分体出厂，现场安装，拼装组焊		440042002800
LFZK-3200	192000	3200	160		≤200					440035205600
LFZK-4000	240000	4000	200							440042005600
LFZK-4800	288000	4800	240							528044005600
LFZK-6000	360000	6000	300			600W/AC220V	0.5			440042007980
LFZK-7200	432000	7200	360							528044007980
LFZK-8400	504000	8400	420							588044007500
LFZK-9600	576000	9600	480							672044007980
LFZK-10800	648000	10800	540							756044007500
LFZK-12000	720000	12000	600							840044007500
LFZK-14400	864000	14400	720							840052807500