电子半导体厂房自洁式空气过滤器-海洁

产品介绍

电子半导体厂房自洁式空气过滤器是专为晶圆制造、芯片封装、显示面板、光电、精密电子等洁净室环境设计的全自动前置空气净化设备。设备集成脉冲反吹自洁系统、PLC 智能控制、低阻高效滤筒、防静电洁净结构于一体，主要用于洁净室MAU 新风机组、组合式空调箱、循环风系统的预过滤，为后端HEPA/ULPA 高效 / 超高效过滤器提供长期稳定保护，保证洁净室风量、压差、洁净度24 小时连续稳定。产品实物图

性能特点

1、全自动脉冲自洁，24 小时连续运行
采用 PLC 智能控制，压差 / 定时 / 手动三重清灰模式，分组逐排反吹，不停机、不减风、不影响洁净室正压。

2、高效低阻，过滤精度适配半导体洁净要求
滤筒效率可达 F8/F9/H10 级，对 1μm 颗粒拦截率高，初始阻力低、运行阻力稳定，显著降低系统能耗。

3、防静电、低释气、无纤维脱落
专用防静电滤材 + PTFE 覆膜，无挥发、无碎屑，满足晶圆、光刻、封装等高洁净微污染控制。

4、洁净级结构设计，无死角、易清洁
壳体采用 304 不锈钢 / 铝合金，无缝焊接、密封可靠，漏风率＜1%，杜绝未过滤空气旁通。

5、保护后端高效 / 超高效过滤器
强力预过滤，大幅延长 HEPA/ULPA 使用寿命，降低更换成本 3～5 倍，减少停机维护。

6、运行稳定，低噪低振
优化气流与喷吹结构，噪音≤65dB，振动小，不干扰精密生产设备。

7、环境适应性强，寿命长
耐湿、耐腐蚀、滤筒寿命长达 2～5 年，维护量极低，长期运行经济性高。

8、智能化程度高，可接入厂房监控系统
支持压差监测、故障报警、485 通讯，可接入 BAS/EMS 洁净室自控系统。

技术参数

自洁式空气过滤器技术参数选型
型号	处理风量 m³/h	过滤面积	滤筒数量	过滤精度	初阻损Pa	消耗功率W	反吹气 M³/min	结构形式	反吹气压 Mpa	尺寸 mm
LFZK-180	10800	180	9	过滤精度： ≥1μm/99.96% ≥2μm/99.99% ≥3μm/100%	≤150	150W/AC220V	0.2	单层单租整体出厂滤筒需现场安装	0.4-0.6	161013602660
LFZK-240	14400	240	12							161017802660
LFZK-320	19200	320	16							203017802660
LFZK-560	33600	560	28							304020302860
LFZK-800	48000	800	40							360022502800
LFZK-1200	72000	1200	60							528022002800
LFZK-1600	96000	1600	80			300W/AC220V	0.3			440035202800
LFZK-2000	120000	2000	100					单层或多层布局，多组模块，分体出厂，现场安装，拼装组焊		440042002800
LFZK-3200	192000	3200	160		≤200					440035205600
LFZK-4000	240000	4000	200							440042005600
LFZK-4800	288000	4800	240							528044005600
LFZK-6000	360000	6000	300			600W/AC220V	0.5			440042007980
LFZK-7200	432000	7200	360							528044007980
LFZK-8400	504000	8400	420							588044007500
LFZK-9600	576000	9600	480							672044007980
LFZK-10800	648000	10800	540							756044007500
LFZK-12000	720000	12000	600							840044007500
LFZK-14400	864000	14400	720							840052807500