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半导体车间高效过滤器

高效空气过滤器（HEPA）是制药 GMP 洁净空调系统末端核心净化组件，安装于高效送风口、层流罩、FFU 风机过滤单元、无菌隔离器、RABS 限制进入屏障系统、生物安全柜、洁净传递窗、工艺排风系统等位...

基本参数：

过滤介质: 空气 材　　质: 聚酯无纺布 工作温度: 10-80度 过滤精度: 1μm 使用范围: 喷涂车间、食品加工车间

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产品介绍

高效空气过滤器是晶圆制造、光刻、刻蚀、扩散、芯片封装、测试等超净厂房净化系统末端核心过滤组件，安装于 FFU 风机过滤单元、层流送风天花、设备内置层流模块、工艺排风系统，是控制空气悬浮粒子的最后一道屏障。执行标准：GB/T13554-2020、ISO14644、IEST-RP-CC001，满足 ISO 1～ISO5 级超净间要求。半导体制程对纳米颗粒、滤料掉纤维、气体析出、静电控制、耐化学熏蒸要求严苛；微小颗粒污染即可造成晶圆良率报废。

性能特点

1、MPPS 法分级，纳米颗粒捕获能力强，过滤性能长期稳定按最易穿透粒径检测，ULPA 可稳定捕捉 0.1μm 级别纳米颗粒；不依靠静电吸附，无效率衰减；持续控制空气悬浮粒子，减少晶圆针孔、断线、缺陷，提升良率。

2、低初阻力，压差线性平稳，降低 FFU 能耗V 型密褶结构提升有效过滤面积，降低运行阻力：

H13：160~200Pa；H14：200~240Pa；U14：240~300Pa；U15：280~320Pa 积尘后压差平缓上升；终阻力推荐 400~500Pa 作为更换阈值；压差接入 BMS 系统，实时在线监控、超限报警，实现预防性维护，降低 FFU 风机能耗。

3、超低释气、低离子析出，无二次污染物全套材料选用超高纯低析出配方，滤材、胶线、框架低 VOC、低可萃取离子（钠、钾、氯离子等），不会析出有机物、离子污染晶圆表面；PTFE 覆膜款彻底消除玻纤纤维脱落风险，避免微纤维附着掩膜、晶圆造成器件失效。

4、ESD 防静电性能，保护精密半导体器件全套组件（滤材、胶线、护网、密封垫、框架）防静电设计，稳定泄放静电，避免静电放电（ESD）击穿晶圆、芯片、光罩，适配光刻、探针测试、封装等静电敏感制程。

应用领域

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客户案例

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